Абсталяванне High-NA EUV з'яўляецца дарагім і вялікім

Абсталяванне High-NA EUV з'яўляецца даражэйшым і каштуе ад 380 да 400 мільёнаў долараў, і яго дыяпазон візуалізацыі скарочаны ўдвая, што запатрабуе сур'ёзных змен у канструкцыі чыпа. Акрамя таго, большы памер сістэм High-NA EUV у параўнанні з сістэмамі Low-NA азначае, што вытворцам чыпаў трэба будзе перагледзець сваю фабрычную кампаноўку, каб змясціць гэта новае абсталяванне.