High-NA EUV zařízení je drahé a velké

Zařízení High-NA EUV je dražší, stojí mezi 380 miliony a 400 miliony USD a jeho zobrazovací rozsah je poloviční, což si vyžádá velké změny v designu čipu. Větší velikost systémů High-NA EUV ve srovnání se systémy Low-NA navíc znamená, že výrobci čipů budou muset přehodnotit své skvělé uspořádání, aby se přizpůsobili těmto novým zařízením.