Zariadenie High-NA EUV je drahé a veľké

Zariadenie High-NA EUV je drahšie, stojí 380 až 400 miliónov USD a jeho zobrazovací rozsah je polovičný, čo si vyžiada veľké zmeny v dizajne čipu. Okrem toho väčšia veľkosť systémov High-NA EUV v porovnaní so systémami Low-NA znamená, že výrobcovia čipov budú musieť prehodnotiť svoje usporiadanie, aby sa prispôsobili týmto novým zariadeniam.