Sprzęt EUV o wysokiej NA jest drogi i duży

Sprzęt EUV o wysokiej rozdzielczości NA jest droższy i kosztuje od 380 do 400 milionów dolarów, a zakres obrazowania jest mniejszy o połowę, co będzie wymagało poważnych zmian w konstrukcji układów scalonych. Ponadto większe rozmiary systemów EUV o wysokiej wartości NA w porównaniu z systemami o niskiej wartości NA oznaczają, że producenci układów scalonych będą musieli przemyśleć układ swoich fabryk, aby pomieścić ten nowy sprzęt.