EUV оборудването с висока NA е скъпо и голямо

High-NA EUV оборудването е по-скъпо, струва между $380 милиона и $400 милиона, а неговият обхват на изображения е намален наполовина, което ще изисква големи промени в дизайна на чипа. Освен това по-големият размер на High-NA EUV системите в сравнение със системите с Low-NA означава, че производителите на чипове ще трябва да преосмислят своето фабрично оформление, за да поемат това ново оборудване.