A nagy NA-jú EUV berendezések drágák és nagyok

A nagy NA-jú EUV-berendezések drágábbak, 380-400 millió dollárba kerülnek, képalkotási hatótávolsága pedig felére csökken, ami jelentős változtatásokat igényel a chipek kialakításában. Ezenkívül a High-NA EUV rendszerek nagyobb mérete a Low-NA rendszerekhez képest azt jelenti, hogy a chipgyártóknak újra kell gondolniuk nagyszerű elrendezésüket, hogy alkalmazkodjanak ezekhez az új berendezésekhez.