고NA EUV 장비는 가격이 비싸고 대형

고 NA EUV 장비는 가격이 3억 8천만 달러에서 4억 달러 사이로 더 비싸고, 이미징 범위는 절반으로 줄어들어 칩 설계를 크게 변경해야 합니다. 또한, 저 NA 시스템에 비해 고 NA EUV 시스템은 크기가 더 크기 때문에 칩 제조업체는 이러한 새로운 장비를 수용하기 위해 제조 레이아웃을 재고해야 합니다.