高NA EUV装置は高価で大型である

高NA EUV装置はより高価で、3億8,000万ドルから4億ドルの費用がかかり、その撮像範囲は半分になるため、チップ設計に大きな変更が必要になります。さらに、高 NA EUV システムは低 NA システムに比べてサイズが大きいため、チップメーカーはこれらの新しい装置に対応するために工場のレイアウトを再考する必要があります。