Өндөр NA EUV төхөөрөмж нь үнэтэй, том хэмжээтэй байдаг

Өндөр NA EUV төхөөрөмж нь илүү үнэтэй, 380-400 сая долларын өртөгтэй, дүрсний хүрээ хоёр дахин багассан тул чип дизайнд томоохон өөрчлөлт оруулах шаардлагатай болно. Нэмж дурдахад, High-NA EUV системүүд нь Low-NA системүүдтэй харьцуулахад том хэмжээтэй байдаг нь чип үйлдвэрлэгчид эдгээр шинэ тоног төхөөрөмжийг суурилуулахын тулд загвар зохион байгуулалтаа эргэн харах шаардлагатай болно гэсэн үг юм.