Samsung koop Lasertec se High-NA EUV-masker-inspeksie-instrument aan

Samsung het na bewering Lasertec se Actis A300 gekoop, 'n High-NA EUV-masker-inspeksie-instrument. Inspeksie van halfgeleiermaskers met behulp van High-NA EUV toegewyde gereedskap kan kontras met meer as 30% verbeter in vergelyking met tradisionele EUV toegewyde gereedskap.