Samsung ყიდულობს Lasertec-ის High-NA EUV ნიღბის შემოწმების ხელსაწყოს

როგორც ცნობილია, Samsung-მა იყიდა Lasertec-ის Actis A300, High-NA EUV ნიღბის შემოწმების ინსტრუმენტი. ნახევარგამტარული ნიღბების შემოწმებას High-NA EUV სპეციალური ხელსაწყოების გამოყენებით შეუძლია გააუმჯობესოს კონტრასტი 30%-ზე მეტით, ვიდრე ტრადიციული EUV გამოყოფილი იარაღები.