英特尔与ASML的合作历程

英特尔曾与ASML合作开发EUV光刻机技术。尽管英特尔投资了41亿美元成为ASML的最大股东，但在EUV光刻机量产初期，由于关键技术问题，英特尔并未购买该设备。