Axcelis laimėjo užsakymą iš Japonijos maitinimo įrenginių gamintojo pristatyti Purion EXE™ SiC didelės energijos jonų implantatorių

2024-12-24 19:27
 85
„Axcelis“ paskelbė apie Purion EXE™ SiC didelės energijos jonų implantavimo įrenginio pristatymą pirmaujančiam Japonijos maitinimo įrenginių lustų gamintojui ir užbaigs Purion H200™ SiC jonų implantatoriaus uždarojo ciklo įvertinimą 200 mm silicio karbido maitinimo įrenginiai.