Axcelis отримує замовлення від японського виробника силових пристроїв на поставку високоенергетичного іонного імплантора Purion EXE™ SiC

Компанія Axcelis оголосила про поставку високоенергетичного іонного імплантера Purion EXE™ провідному японському виробнику чіпів для енергетичних пристроїв і завершення оцінювання замкнутого циклу іонного імплантера Purion H200™. Це обладнання буде використовуватися для виробництва 150 мм і Силові пристрої з карбіду кремнію 200 мм.