Axcelis si aggiudica l'ordine dal produttore giapponese di dispositivi di potenza per la fornitura dell'impiantatore ionico ad alta energia Purion EXE™ SiC

Axcelis ha annunciato la consegna dell'impiantatore ionico ad alta energia Purion EXE™ SiC al principale produttore giapponese di chip per dispositivi di potenza e il completamento del ciclo chiuso di valutazione dell'impiantatore ionico SiC Purion H200™. Queste apparecchiature saranno utilizzate per la produzione di 150 mm e Dispositivi di potenza in carburo di silicio da 200 mm.