Axcelis gana el pedido del fabricante japonés de dispositivos de energía para entregar el implantador de iones de alta energía Purion EXE™ SiC

Axcelis anunció la entrega del implantador de iones de alta energía Purion EXE™ SiC al principal fabricante de chips de dispositivos de energía de Japón y la finalización del circuito cerrado de evaluación del implantador de iones de SiC Purion H200™. Estos equipos se utilizarán para la producción de 150 mm y 150 mm. Dispositivos de potencia de carburo de silicio de 200 mm.