全球首款8寸硅光薄膜铌酸锂晶圆研制成功
SOI
薄膜
晶圆
铌酸锂
硅光
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化合物
集成
光电
2024-04-07 17:52
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全球首款8寸硅光薄膜铌酸锂晶圆已在九峰山实验室研制成功。这一成果使用了8寸SOI硅光晶圆与8寸铌酸锂晶圆键合的技术,实现了光电收发功能的单片集成,代表了目前硅基化合物光电集成的最先进技术。
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