A Samsung megvásárolja a Lasertec High-NA EUV maszkellenőrző eszközét

A Samsung állítólag megvásárolta a Lasertec Actis A300-át, egy nagy NA-értékkel rendelkező EUV maszkvizsgáló eszközt. A félvezető maszkok High-NA EUV dedikált eszközökkel történő vizsgálata több mint 30%-kal javíthatja a kontrasztot a hagyományos EUV dedikált eszközökhöz képest.