公司子公司muetec的宏觀缺陷檢測產品是否可以在光刻過程中實現晶圓檢測？

天準科技：您好，感謝對公司的關注。 MueTec的產品面向半導體前道晶圓的測量與檢測，其中Argos系列、Rembrandt系列屬於宏觀瑕疵檢測設備。光刻過程中的檢測屬於微觀瑕疵檢測。