Η ASML ανακοινώνει το σχέδιο τεχνολογίας για τη μηχανή λιθογραφίας Hyper-NA EUV επόμενης γενιάς

Η ASML ανακοίνωσε το τεχνικό σχέδιο για μια νέα γενιά μηχανής λιθογραφίας Hyper-NA EUV, η οποία βρίσκεται επί του παρόντος στα αρχικά στάδια ανάπτυξης. Ο Martin van den Brink, πρώην επικεφαλής τεχνολογίας της εταιρείας, είπε ότι η μηχανή λιθογραφίας Hyper-NA EUV πρέπει να βελτιώσει το σύστημα πηγής φωτός και να αυξήσει την απόδοση παραγωγής σε 400 έως 500 γκοφρέτες ανά ώρα.