ASML、次世代Hyper-NA EUVリソグラフィー装置の技術青写真を発表

ASML は、現在開発の初期段階にある新世代の Hyper-NA EUV リソグラフィー マシンの技術的青写真を発表しました。同社の元最高技術責任者であるマーティン・ファン・デン・ブリンク氏は、Hyper-NA EUVリソグラフィー装置は光源システムを改善し、生産効率を1時間あたり400～500枚のウェーハに高める必要があると述べた。