인텔, R&D 및 생산을 위해 ASML 높은 개구수 EUV 장비 사용

Intel은 ASML High NA 시스템을 완전히 조립한 최초의 칩 제조업체가 되어 오레곤에 있는 D1X 시설에서 자체 기계를 가동하게 됩니다. Intel은 먼저 EXE:5200 High NA 시스템을 R&D 목적으로 사용한 후 14A 노드에서 생산을 시작합니다.