8 inçlik SiC levha imalatındaki zorlukların analizi

8 inçlik SiC üretimindeki zorluklardan biri külçelerin büyümesidir. Çap 6 inçten 8 inçe çıkarıldığında külçe büyümesinin zorluğu katlanarak artacaktır. 8 inçlik tohum kristalleri için kalite gereksinimleri daha yüksektir. Aynı zamanda, büyük boyuttan kaynaklanan eşit olmayan sıcaklık alanı, gaz fazı hammadde dağılımı ve taşıma verimliliği sorunları ve artan stresin neden olduğu kristal çatlaması gibi sorunların giderilmesi gerekir. çözüldü.