オランダのASML社が新型NA EUVリソグラフィー装置を発売

世界的に有名な露光装置メーカーであるオランダの ASML はこのほど、最新の NA EUV 露光装置を発売すると発表しました。この装置の重量は150トンで、2nmプロセスのチップを製造できます。