ASMLは生産能力の拡大を計画

ASML は今後数年間で生産能力を大幅に増強する予定です。 2025年から2026年までに、年間600台の深紫外線（DUV）リソグラフィーシステムと90台の低NA極紫外線（EUV）リソグラフィー装置が、20台の高NA EUVに加えて製造されると予想されている。