ASML's Twinscan NXE:3800E systeemprestatieverbeteringen

Volgens de 2021-versie van de roadmap die ASML heeft uitgebracht, zal het Twinscan NXE:3800E-systeem aanzienlijke verbeteringen hebben in de uitlijningsnauwkeurigheid en productiecapaciteit vergeleken met de vorige generatie 3600D, met een doorvoer van maximaal 195 wafers per uur, wat hoger is dan de 160 wafels van de 3600D Bijna 22%, en zal naar verwachting de doelstelling van 220 stuks bereiken.