ASMLs Twinscan NXE:3800E systemydelsesforbedringer

I henhold til 2021-versionen af ​​køreplanen udgivet af ASML, vil Twinscan NXE:3800E-systemet have betydelige forbedringer i justeringsnøjagtighed og produktionskapacitet sammenlignet med den tidligere generation 3600D, med en gennemstrømning på op til 195 wafers i timen, en stigning fra 160 wafers af 3600D Næsten 22%, og forventes at nå målet på 220 stykker.