ASML:n Twinscan NXE:3800E -järjestelmän suorituskykyparannuksia

ASML:n julkaiseman etenemissuunnitelman 2021-version mukaan Twinscan NXE:3800E -järjestelmällä on merkittäviä parannuksia kohdistustarkkuudessa ja tuotantokapasiteetissa verrattuna edellisen sukupolven 3600D:hen, ja sen suorituskyky on jopa 195 kiekkoa tunnissa, mikä on suurempi kuin 3600D:n 160 kiekkoa lähes 22 %, ja sen odotetaan saavuttavan tavoitteen 220 kappaletta.