Melhorias de desempenho do sistema Twinscan NXE:3800E da ASML

De acordo com a versão 2021 do roteiro divulgado pela ASML, o sistema Twinscan NXE:3800E terá melhorias significativas na precisão do alinhamento e na capacidade de produção em comparação com a geração anterior 3600D, com uma produtividade de até 195 wafers por hora, o que é superior ao os 160 wafers do 3600D quase 22%, e espera-se atingir a meta de 220 peças.