Цахиурын карбидын эпитаксиаль төхөөрөмж ба эпитаксиаль өрмөнцөрийн зах зээлийн шинжилгээ

56
Цахиурын карбидын эпитаксиаль тоног төхөөрөмж, эпитаксиаль хавтангийн зах зээлд голчлон Axitron, LPE, TEL, Nuflare зэрэг компаниуд давамгайлдаг. Дамжуулагч SiC субстратыг голчлон цахилгаан төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд ашигладаг бол хагас тусгаарлагч SiC субстратыг радио давтамжийн төхөөрөмжийг үйлдвэрлэхэд ашигладаг.