Axcelis, Japon güç cihazı üreticisinden Purion EXE™ SiC yüksek enerjili iyon implanterini teslim etme siparişini aldı

Axcelis, Purion EXE™ SiC yüksek enerjili iyon implanterinin Japonya'nın önde gelen güç cihazı çip üreticisine teslim edildiğini ve Purion H200™ SiC iyon implanterinin değerlendirme kapalı döngüsünün tamamlandığını duyurdu. 200 mm silisyum karbür güç cihazları.