عملية التصنيع ومخطط القياس لجيروسكوب SAW
سكو لأشباه الموصلات
مع
ال
و
MEMS
روس
سك
لا
تقنية
خط
جيروسكوب
جامعة نورث وسترن بوليتكنيكال
بحث
عمل
يي
عملية
تصنيع
بحث
عملية
تقييم
لا
ل
2024-12-23 10:38
0
قدم فريق البحث في جامعة نورث وسترن بوليتكنيكال عملية تصنيع لجيروسكوبات SAW، بما في ذلك استخدام تقنية MEMS لتصنيع أجهزة SAW. واقترحوا أيضًا مخطط قياس لتقييم خصائص الاستجابة لجيروسكوبات SAW.
