Quy trình chế tạo và sơ đồ đo của con quay hồi chuyển SAW

Nhóm nghiên cứu của Đại học Bách khoa Tây Bắc đã giới thiệu quy trình sản xuất con quay hồi chuyển SAW, trong đó sử dụng công nghệ MEMS để chế tạo thiết bị SAW. Họ cũng đề xuất một sơ đồ đo lường để đánh giá các đặc tính đáp ứng của con quay hồi chuyển SAW.