Integrasi film tipis KNN yang berhasil pada wafer silikon 8 inci

0
Sumitomo Chemical Corporation Jepang baru-baru ini mengumumkan bahwa mereka telah berhasil mendepositkan film tipis KNN pada wafer silikon berukuran besar (8 inci) dan mencapai keseragaman ketebalan yang baik. Pencapaian ini memberikan dukungan penting bagi komersialisasi film KNN dan membantu memenuhi kebutuhan industri MEMS piezoelektrik. Selain itu, para peneliti dari Universitas Grenoble-Alpes dan Universitas Rennes 1 di Perancis juga mengintegrasikan film KNN tercanggih ke dalam perangkat aktuator MEMS menggunakan proses yang kompatibel secara industri pada platform teknologi wafer silikon 8 inci.