Tích hợp thành công màng mỏng KNN trên wafer silicon 8 inch

Tập đoàn Hóa chất Sumitomo của Nhật Bản mới đây công bố đã lắng đọng thành công màng mỏng KNN trên các tấm silicon kích thước lớn (8 inch) và đạt được độ đồng đều về độ dày tốt. Thành tựu này mang lại sự hỗ trợ quan trọng cho việc thương mại hóa màng KNN và giúp đáp ứng nhu cầu của ngành MEMS áp điện. Ngoài ra, các nhà nghiên cứu từ Đại học Grenoble-Alpes và Đại học Rennes 1 ở Pháp cũng tích hợp màng KNN tiên tiến nhất vào các thiết bị truyền động MEMS sử dụng quy trình tương thích công nghiệp trên nền tảng công nghệ wafer silicon 8 inch.